Elektrochemische Synthese
Im Bereich Synthese geht es um die Entfernung von Partikeln und den Schutz kleinster Strukturen bei der Wafer-Herstellung sowie um die Reinigung von Vorrichtungen für die Waferproduktion.
Ein weiteres Anwendungsgebiet ist im Bereich Grüne Chemie
die ressourceneffiziente und nachhaltige Herstellung von chemischen Wertstoffen. Hier kommen unsere skalierbaren Stahlzellen mit Diamantelektroden zum Einsatz, mit denen beispielsweise Biphenol oder Peroxo-Dicarbonat produziert werden kann.
Halbleiter-Industrie: Reinigung von Wafern und Vorrichtungen
In der Halbleiterindustrie
werden DIACHEM®-Elektroden gewinnbringend für die Reinigung von Wafern und Supportinfrastruktur, sowie den Oxidationsschutz von metallbasierten Mikrostrukturen eingesetzt. Die größten Ziele in der Massenproduktion der Halbleiterindustrie sind Kostenreduzierung
und Erhöhung der Prozessstabilität. DIACHEM®-Elektroden sind die Hauptkomponenten der innovativen Technologie unserer Partner, die zur Entfernung von Partikeln in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird.
Die mit unserer Technologie erzeugten Reinigungslösungen erweitern signifikant den Anwendungsbereich von Spüllösungen und zeigen Eigenschaften, die in klassischen Reinigungsbädern nicht erreicht werden können.
In oxidativen Reinigungsbädern
wird traditionell eine Mischlösung aus Schwefelsäure und Wasserstoffperoxid für den Nassätzprozess verwendet. Bei der neuen Technologie wird die hochoxidative Carosche Säure durch Elektrolyse direkt aus der Schwefelsäure erzeugt. Die Carosche Säure reagiert zu Schwefelsäure, die wieder zu Caroscher Säure zurückgeführt werden kann. Diese Technologie minimiert die Umweltbelastung
und reduziert die Kosten
durch die Wiederverwertung der Nassätzflüssigkeit. Unser Partner Kurita America Inc. nutzt diese innovative Technologie für den Einstieg in den Halbleitermarkt.
Anwendungsbeispiele
Symbolbilder
Vorteile der Wafer-Reinigung mit Electrolyzed Water
Zerstörungsfreie Partikel-, Ionen- und Metallentfernung
Vermeidung von Chemikalienabfall und -Entsorgung
Schutz von Metallen gegen Oxidation im Reinigungsbad
Weites ORP- und pH- Fenster
Substitutionslösung für externe Chemiezufuhr
Recyclingfähigkeit bei Electrolyzed Sulphuric Acid (ESA)
Effiziente Ozon-Erzeugung
So funktioniert die Wafer-Reinigung
Electrolyzed Water
Effiziente Reinigung von Materialien für die Halbleiter-Industrie
- Technologiefokus auf Strukturen kleiner 20 nm
- Keine Metallverunreinigungen dank Electrolyzed Water
- Technologie geschützt durch CONDIAS-Patente
Unser Produkt für Reinigungsprozesse in der Halbleiter-Industrie
Die RED OX®-Zelle: Für Reinigungsprozesse in der Halbleiter-Industrie
Erfahren Sie mehr über RED OX®
„Grüne Chemie“: Nachhaltige Synthese von Wertstoffen
Die umweltfreundliche
und nachhaltige
Produktion chemischer Verbindungen ist einer der Grundpfeiler der Grünen Chemie. Eine langlebige und hocheffiziente Diamantelektrode setzt im Kontext des EAOP® (Electrochemical Advanced Oxidation Process) neue Maßstäbe in Bezug auf Wirtschaftlichkeit und zukunftsfähiger Technologie.
Stark oxidierende Spezies wie PODIC® (Peroxo-Dicarbonat)
können in hoher Konzentration sogar nur unter Verwendung von Diamant-Elektroden hergestellt werden. Neben der herausragenden Leistungsfähigkeit der DIACHEM® Elektrode in wässrigen Medien, können auch in organischen Lösungsmitteln innovative Syntheserouten beschritten werden. Die Biphenolsynthese
ist eine von mehreren Anwendungen, die sich im BMBF-Projekt EPSYLON mit hoher Effizienz umsetzen lies.
Die freie Skalierbarkeit
unserer Elektrolysezellen sorgt dafür, dass es keinen Technologiebruch zwischen Labor, Pilotphase und Produktion gibt.
Anwendungen / Projekte
Vorteile
Nachhaltige Wertschöpfung
Geschlossene Stoffkreisläufe
Skalierbare Systeme
Nachhaltige und umweltfreundliche Produktion von hochwertigen Chemikalien
Nutzung von erneuerbaren Energien
Niedrige Kosten
Das Peroxo-Dicarbonat -Anion zeichnet sich durch seine hohe Oxidationskraft bei gleichzeitig sehr geringer Aktivierungsenergie aus. Die vergleichsweise schwere Synthetisierbarkeit hat den erfolgreichen Einsatz als Oxidationsmittel lange Zeit erschwert. Für die oxidative Kupplung zweier Carbonat-Ionen sticht Bor-dotierter Diamant in besonderem Maße hervor. Die effiziente und stabile Syntheseroute an BDD eröffnet vollkommen neue Möglichkeiten in der Elektrosynthese.
Beispielsweise bietet die Umsetzung von Lignin mit Natriumperoxodicarbonat eine innovative, ökologische und ressourcenschonende Synthese für den Naturstoff Vanillin . Lignin ist im industriellen Maßstab verfügbar. Als ubiquitäres Biopolymer in Bäumen und Gräsern ist es ein integraler Bestandteil der Zellwände und sichert die strukturelle Integrität der Pflanze.
CONDIAS ist am EU-Förderprojekt LIBERATE beteiligt, welches die Herstellung von Vanillin aus Lignin zum Gegenstand hat.
Unsere Produkte für die "Grüne Chemie"
Die SSZ-Reihe: Skalierbare Zellen für für organische und wasserbasierte Elektrolyte
Erfahren Sie mehr über die SSZ-Reihe
Das Synthese Starter-Kit: Für einen erfolgreichen Einsatz von Diamantelektroden im Labor
Erfahren Sie mehr über das Synthese StarterKitÜbersichtsgrafik: Verringerung des Redoxpotentials
